磁力驅動泵基于MEMS的微驅動器研制及其特性研究

    根據被動閥微泵的工作原理,提出了一種基于MEMS技術具 有V型微閥的新型微驅動器,對微驅動器結構中的PZT復合薄板、微閥 的制作、特性進行了工藝模擬,設計了相關制作工藝及版圖尺寸,并實現 了微驅動器。通過理論分析給出方形PZT復合薄板的驅動電壓與撓度、 復合薄板的厚度與撓度,復合薄板厚度與固有頻率的關系,為方形硅杯結 構微系統器件的理論與實驗的進一步比較分析提供了參考依據。在研制過 程中發現V型微閥設計制作的關鍵因素是硅各向異性腐蝕技術與設計尺 寸的關系,并給出了新型V閥微驅動器的流量、背壓等測試方法。結果證 明采用MEMS技術研制的新型V閥微驅動器的工藝方案可行,工藝簡單、 成本低、體積小,尤其適用于生物醫學領域。

    磁力驅動泵是將永磁聯軸器的工作原理應用于離心泵的新產品，主要材料有不銹鋼、增強聚丙稀，工程塑料。設計合理、工藝，具有全密封、無泄漏、耐腐蝕的特點，其性能達到國外同類產品的水平。

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